中科大微納米工程實(shí)驗(yàn)室吳東教授課題組利用空間光調(diào)制器SLM調(diào)制實(shí)現(xiàn)了多焦點(diǎn)飛秒激光在大數(shù)值孔徑物鏡下的高均一性的并行微納加工，在保證加工效率的前提下，提高了大數(shù)值孔徑物鏡下的多焦點(diǎn)加工的均一性。研究成果以題為” Highly uniform parallel microfabrication using large numerical aperture system”在國(guó)際期刊Applied Physics Letters(SCI二區(qū), IF=3.14)上在線發(fā)表。
相對(duì)于傳統(tǒng)的飛秒激光加工方法，利用SLM能夠針對(duì)不同的目標(biāo)圖案對(duì)入射激光動(dòng)態(tài)調(diào)制生成對(duì)應(yīng)的多焦點(diǎn)陣列，在光學(xué)，微納加工以及生物學(xué)等方面有著廣泛的應(yīng)用。對(duì)于普通SLM并行激光加工方法存在的高數(shù)值孔徑物鏡下加工結(jié)構(gòu)均一性低的問(wèn)題。本研究提出一種改進(jìn)算法，使得在數(shù)值孔徑為1.35的浸油物鏡下，加工結(jié)果的均一性從75%左右提高到95%以上，使得并行激光加工技術(shù)在高數(shù)值孔徑物鏡的加工系統(tǒng)中仍能有著廣泛的應(yīng)用。該研究工作受到國(guó)家科技部、自然基金委、國(guó)家青年千人項(xiàng)目等的資助。
